SEM5000X 超高分辨场发射扫描电子显微镜

产品描述：SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。关键参数分辨率0.6 nm @ 15 kV，SE1.0 nm @ 1 kV，SE加速电压20 V ~ 30

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜，电子光学镜筒设计优化，综合像差降低了 30%，从而达到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性，可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。

关键参数	分辨率	0.6 nm @ 15 kV，SE
	分辨率	1.0 nm @ 1 kV，SE
	加速电压	20 V ~ 30 kV
	放大倍率	1 ~ 2,500,000 x
	电子枪类型	肖特基场发射电子枪
样品室	摄像头	双摄像头（光学导航+样品仓内监控）
	样品台行程	X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm
	样品台行程	T: -10°~+70°，R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器（Inlens）
	标配	仓室内电子探测器（ETD）
	选配	插入式背散射电子探测器（BSED)
		插入式扫描透射探测器（STEM）
		低真空二次电子探测器（LVD）
		能谱仪（EDS）
		背散射衍射（EBSD）
		样品交换仓（4寸和8寸可选）
		轨迹球&旋钮板
		双减速技术（Duo-Dec）
软件	语言	中文
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航，轨迹球（选配）
	图像存储	TIFF、JPG、PNG、BMP可选
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散