SEM5000Pro 场发射扫描电镜

产品描述：SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了1.2nm@1kV的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。关键参数分辨率0.8 nm @ 15 kV，S

SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜，使用了高压隧道技术（Super-Tunnel）、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计，减少了空间电荷效应，降低系统像差，实现了1.2nm@1kV的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升，可对不导电样品或半导体样品进行直接观察，有效降低了样品辐照损伤。

关键参数	分辨率	0.8 nm @ 15 kV，SE 1.2 nm @ 1.0 kV，SE
	加速电压	20 V ～ 30 kV
	放大倍率	1 ～ 2,500,000 x
	电子枪类型	肖特基场发射电子枪
样品室	摄像头	双摄像头（光学导航+样品仓内监控）
样品室	样品台行程	X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 50 mm T: -10°～ +70°, R: 360°
探测器和扩展	标配	镜筒内电子探测器：Inlens 仓室内电子探测器：ETD
探测器和扩展	选配	插入式背散射电子探测器（BSED）插入式扫描透射探测器(STEM) 低真空二次电子探测器（LVD）能谱仪（EDS）背散射衍射（EBSD）样品交换仓（4 寸 /8 寸）轨迹球&旋钮板
软件	语言	中文SEM软件
	操作系统	Windows
	导航	光学导航、手势快捷导航、轨迹球（选配）
	自动功能	自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散